Study of process parameters and characteristics properties of W coatings deposited by rf plasma sputtering

Beidler C.D.; Smith H.M.; Alonso A.; Andreeva T.; Baldzuhn J.; Beurskens M.N.A.; Borchardt M.; Bozhenkov S.A.; Brunner K.J.; Damm H.; Drevlak M.; Ford O.P.; Fuchert G.; Geiger J.; Helander P.; Hergenhahn U.; Hirsch M.; Hofel U.; Kazakov Y.O.; Kleiber R.; Krychowiak M.; Kwak S.; Langenberg A.; Laqua H.P.; Neuner U.; Pablant N.A.; Pasch E.; Pavone A.; Pedersen T.S.; Rahbarnia K.; Schilling J.; Scott E.R.; Stange T.; Svensson J.; Thomsen H.; Turkin Y.; Warmer F.; Wolf R.C.; Zhang D.; Abramovic I.; Akaslompolo S.; Alcuson J.; Aleynikov P.; Aleynikova K.; Ali A.; Alonso A.; Anda G.; Ascasibar E.; Bahner J.P.; Baek S.G.; Balden M.; Banduch M.; Barbui T.; Behr W.; Benndorf A.; Biedermann C.; Biel W.; Blackwell B.; Blanco E.; Blatzheim M.; Ballinger S.; Bluhm T.; Bockenhoff D.; Boswirth B.; Bottger L.-G.; Borsuk V.; Boscary J.; Bosch H.-S.; Brakel R.; Brand H.; Brandt C.; Brauer T.; Braune H.; Brezinsek S.; Brunner K.-J.; Burhenn R.; Bussiahn R.; Buttenschon B.; Bykov V.; Cai J.; Calvo I.; Cannas B.; Cappa A.; Carls A.; Carraro L.; Carvalho B.; Castejon F.; Charl A.; Chaudhary N.; Chauvin D.; Chernyshev F.; Cianciosa M.; Citarella R.; Claps G.; Coenen J.; Cole M.; Cole M.J.; Cordella F.; Cseh G.; Czarnecka A.; Czerski K.; Czerwinski M.; Czymek G.; da Molin A.; da Silva A.; de la Pena A.; Degenkolbe S.; Dhard C.P.; Dibon M.; Dinklage A.; Dittmar T.; Drewelow P.; Drews P.; Durodie F.; Edlund E.; Effenberg F.; Ehrke G.; Elgeti S.; Endler M.; Ennis D.; Esteban H.; Estrada T.; Fellinger J.; Feng Y.; Flom E.; Fernandes H.; Fietz W.H.; Figacz W.; Fontdecaba J.; Fornal T.; Frerichs H.; Freund A.; Funaba T.; Galkowski A.; Gantenbein G.; Gao Y.; Garcia Regana J.; Gates D.; Geiger B.; Giannella V.; Gogoleva A.; Goncalves B.; Goriaev A.; Gradic D.; Grahl M.; Green J.; Greuner H.; Grosman A.; Grote H.; Gruca M.; Grulke O.; Guerard C.; Hacker P.; Han X.; Harris J.H.; Hartmann D.; Hathiramani D.; Hein B.; Heinemann B.; Helander P.; Henneberg S.; Henkel M.; Hergenhahn U.; Hernandez Sanchez J.; Hidalgo C.; Hollfeld K.P.; Holting A.; Hoschen D.; Houry M.; Howard J.; Huang X.; Huang Z.; Hubeny M.; Huber M.; Hunger H.; Ida K.; Ilkei T.; Illy S.; Israeli B.; Jablonski S.; Jakubowski M.; Jelonnek J.; Jenzsch H.; Jesche T.; Jia M.; Junghanns P.; Kacmarczyk J.; Kallmeyer J.-P.; Kamionka U.; Kasahara H.; Kasparek W.; Kenmochi N.; Killer C.; Kirschner A.; Klinger T.; Knauer J.; Knaup M.; Knieps A.; Kobarg T.; Kocsis G.; Kochl F.; Kolesnichenko Y.; Konies A.; Konig R.; Kornejew P.; Koschinsky J.-P.; Koster F.; Kramer M.; Krampitz R.; Kramer-Flecken A.; Krawczyk N.; Kremeyer T.; Krom J.; Ksiazek I.; Kubkowska M.; Kuhner G.; Kurki-Suonio T.; Kurz P.A.; Landreman M.; Lang P.; Lang R.; Langish S.; Laqua H.; Laube R.; Lazerson S.; Lechte C.; Lennartz M.; Leonhardt W.; Li C.; Li C.; Li Y.; Liang Y.; Linsmeier C.; Liu S.; Lobsien J.-F.; Loesser D.; Loizu Cisquella J.; Lore J.; Lorenz A.; Losert M.; Lucke A.; Lumsdaine A.; Lutsenko V.; Maassberg H.; Marchuk O.; Matthew J.H.; Marsen S.; Marushchenko M.; Masuzaki S.; Maurer D.; Mayer M.; McCarthy K.; McNeely P.; Meier A.; Mellein D.; Mendelevitch B.; Mertens P.; Mikkelsen D.; Mishchenko A.; Missal B.; Mittelstaedt J.; Mizuuchi T.; Mollen A.; Moncada V.; Monnich T.; Morisaki T.; Moseev D.; Murakami S.; Nafradi G.; Nagel M.; Naujoks D.; Neilson H.; Neu R.; Neubauer O.; Ngo T.; Nicolai D.; Nielsen S.K.; Niemann H.; Nishizawa T.; Nocentini R.; Nuhrenberg C.; Nuhrenberg J.; Obermayer S.; Offermanns G.; Ogawa K.; Olmanns J.; Ongena J.; Oosterbeek J.W.; Orozco G.; Otte M.; Pacios Rodriguez L.; Panadero N.; Panadero Alvarez N.; Papenfuss D.; Paqay S.; Pawelec E.; Pedersen T.S.; Pelka G.; Perseo V.; Peterson B.; Pilopp D.; Pingel S.; Pisano F.; Plaum B.; Plunk G.; Poloskei P.; Porkolab M.; Proll J.; Puiatti M.-E.; Puig Sitjes A.; Purps F.; Rack M.; Recsei S.; Reiman A.; Reimold F.; Reiter D.; Remppel F.; Renard S.; Riedl R.; Riemann J.; Risse K.; Rohde V.; Rohlinger H.; Rome M.; Rondeshagen D.; Rong P.; Roth B.; Rudischhauser L.; Rummel K.; Rummel T.; Runov A.; Rust N.; Ryc L.; Ryosuke S.; Sakamoto R.; Salewski M.; Samartsev A.; Sanchez M.; Sano F.; Satake S.; Schacht J.; Satheeswaran G.; Schauer F.; Scherer T.; Schlaich A.; Schlisio G.; Schluck F.; Schluter K.-H.; Schmitt J.; Schmitz H.; Schmitz O.; Schmuck S.; Schneider M.; Schneider W.; Scholz P.; Schrittwieser R.; Schroder M.; Schroder T.; Schroeder R.; Schumacher H.; Schweer B.; Sereda S.; Shanahan B.; Sibilia M.; Sinha P.; Siplia S.; Slaby C.; Sleczka M.; Spiess W.; Spong D.A.; Spring A.; Stadler R.; Stejner M.; Stephey L.; Stridde U.; Suzuki C.; Szabo V.; Szabolics T.; Szepesi T.; Szokefalvi-Nagy Z.; Tamura N.; Tancetti A.; Terry J.; Thomas J.; Thumm M.; Travere J.M.; Traverso P.; Tretter J.; Trimino Mora H.; Tsuchiya H.; Tsujimura T.; Tulipan S.; Unterberg B.; Vakulchyk I.; Valet S.; Vano L.; van Eeten P.; van Milligen B.; van Vuuren A.J.; Vela L.; Velasco J.-L.; Vergote M.; Vervier M.; Vianello N.; Viebke H.; Vilbrandt R.; von Stechow A.; Vorkoper A.; Wadle S.; Wagner F.; Wang E.; Wang N.; Wang Z.; Wauters T.; Wegener L.; Weggen J.; Wegner T.; Wei Y.; Weir G.; Wendorf J.; Wenzel U.; Werner A.; White A.; Wiegel B.; Wilde F.; Windisch T.; Winkler M.; Winter A.; Winters V.; Wolf S.; Wolf R.C.; Wright A.; Wurden G.; Xanthopoulos P.; Yamada H.; Yamada I.; Yasuhara R.; Yokoyama M.; Zanini M.; Zarnstorff M.; Zeitler A.; Zhang H.; Zhu J.; Zilker M.; Zocco A.; Zoletnik S.; Zuin M.